数控内孔挖深槽的编程步骤如下：
设定工件坐标系和刀具半径
使用G54、G90、G40、G17、G21、G80等指令设定工件坐标系、取消半径补偿、选择XY平面、以绝对坐标模式进行编程、以毫米为单位进行编程、取消循环加工。
设定进给速度和主轴转速
使用S1000指令设定主轴转速为1000转/分钟，M3指令启动主轴正转。
进行初始定位
使用G00指令将刀具移动到加工起点位置（X0, Y0, Z0）。
进行内孔预孔
使用G83指令进行预钻孔，参数为X0, Y0, Z-20（深度为-20mm，R2表示震荡半径为2mm，Q5表示钻孔深度为5mm）。
进行内孔沟槽加工
使用G01指令进行直线插补，参数为X0, Y0, Z-10（深度为-10mm），F100表示进给速度为100mm/min。
完成加工，机床复位
使用M5指令停止主轴转动，G90指令回到绝对坐标模式，G80指令取消循环加工。
示例程序
```gcode
； 程序号
O0001
； 选择刀具
T0101
； 刀具半径补偿（假设刀具半径为4mm）
G40
； 工件坐标系和加工模式
G97
G99
； 主轴转速
S280
； 主轴正转
M03
； 初始定位
G00 X0 Y0 Z0
； 预钻孔
G83 X0 Y0 Z-20 R2 Q5 F60
； 内孔沟槽加工
G01 X0 Y0 Z-10 F100
； 机床复位
M5
G90
G80
```
注意事项
刀具半径补偿：
根据实际刀具半径调整G41和G42指令的补偿值。
加工参数：
根据具体加工要求调整进给速度（F）、切削速度（S）和切削深度（Z）。
调试程序：
在数控机床上进行手动模式调试，确保刀具运动轨迹和加工结果符合预期。
安全操作：
加工过程中注意机床安全，避免发生意外。
通过以上步骤和示例程序，可以实现数控内孔挖深槽的精确编程和加工。