使用G73指令进行数控深孔加工的编程步骤如下：
选择加工坐标系
使用G56指令选择加工坐标系，例如选择2号加工坐标系，并移动到Z向起始点。
启动主轴
使用M03指令启动主轴，并设置主轴转速，例如S600。
设置G73指令
输入G73指令，并设置钻孔位置的坐标值（X, Y）、孔底坐标（Z）、安全面（R面）的坐标（R）、每次切削深度（Q）和切削进给速度（F）。
执行钻孔循环
执行G73指令后，系统会自动按照指定的参数进行钻孔循环，完成所有的钻孔操作。
重复加工
如果需要重复加工，可以使用G99指令返回R平面，然后继续使用G73指令进行下一次加工。
结束程序
完成所有钻孔操作后，使用M05指令停止主轴，并使用M30指令结束程序。
示例程序
```gcode
O40 N10 G56 G90 G1 Z60 F2000 // 选择2号加工坐标系，到Z向起始点
N20 M03 S600 // 主轴启动
N30 G98 G73 X0 Y0 Z-50 R30 Q5 F50 // 选择高速深孔钻方式加工1号孔
N40 G73 X40 Y0 Z-50 R30 Q5 F50 // 选择高速深孔钻方式加工2号孔
N50 G73 X0 Y40 Z-50 R30 Q5 F50 // 选择高速深孔钻方式加工3号孔
N60 G73 X-40 Y0 Z-50 R30 Q5 F50 // 选择高速深孔钻方式加工4号孔
N70 G73 X0 Y-40 Z-50 R30 Q5 F50 // 选择高速深孔钻方式加工5号孔
N80 G01 Z60 F2000// 返回Z向起始点
N90 M05// 主轴停
N100 M30 // 程序结束并返回起点
```
注意事项
确保机床的控制系统支持G73指令。
坐标位置应准确无误，以确保孔加工的位置准确。
修正量R、停留时间P和切削时间Q需要根据具体情况进行调整，以满足加工要求。
在编程过程中，注意刀具半径补偿和刀具编号的设置，以确保加工出标准尺寸的孔。