M5内孔铣螺纹的编程步骤如下：
选择螺纹加工模式
使用G代码选择螺纹加工模式，例如G33表示恒定进给，G32表示变进给。
选择平面和取消补偿
使用G代码选择X、Z平面，例如G17表示选择XY平面，G40表示取消刀具半径补偿。
设置主轴转速
使用S代码设置主轴转速，例如S500表示主轴转速为500转/分钟。
选择刀具
使用T代码选择刀具，例如T01表示选择刀具1。
设置进给速度和转速
使用F代码设置进给速度，例如F0.1表示进给速度为0.1mm/转。
使用G代码设置主轴转速，例如G97表示主轴转速为2000转/分钟。
控制移动距离
使用X和Z代码控制X轴和Z轴的移动距离，例如X100表示X轴移动100mm，Z50表示Z轴移动50mm。
设置进给方式
使用G代码设置进给方式，例如G94表示进给方式为恒定进给。
开始螺纹加工
使用G代码开始螺纹加工，例如G32表示螺纹加工，X轴移动100mm，Z轴移动50mm，进给速度为0.1mm/转。
停止主轴
使用M代码停止主轴，例如M5表示主轴停止。
```plaintext
G33 G17 G40 G80 // 选择螺纹加工模式、选择X、Z平面、取消切削半径补偿、取消暂停
M3 S500 // 主轴正转，转速500转/分钟
T01 // 选择刀具1
G97 S2000 F0.1 // 转速2000转/分钟，进给速度0.1mm/转
G95 F0.05 // 进给速度0.05mm/转
G94 // 进给方式为恒定进给
G32 X100 Z50 F0.1 // 螺纹加工，X轴移动100mm，Z轴移动50mm，进给速度0.1mm/转
M5 // 主轴停止
```
请根据实际加工需求进行相应的调整和修改。