要使用三菱5U控制伺服电机并进行编程，您需要遵循以下步骤：
设置伺服参数
打开三菱伺服配置软件，将伺服设置为位置控制模式。
设置位置控制参数，包括脉冲控制方式（FX5U脉冲方式脉冲加方向），并在参数中改成相应的设置。
设置电子齿轮比和每转脉冲数。电子齿轮比用于消除计算除不尽造成的累计误差，而每转脉冲数则直接设置伺服转一圈的距离。例如，如果导轨的导程是2mm，且伺服转一圈的距离是2mm，那么当需要伺服定位5mm时，PLC应发送10000个脉冲。
配置三菱PLC FX5U的参数
打开三菱编程软件GX WORKS3，新建工程，并选择FX5U。
在参数-模块参数-高速IO-输出-定位中设置具体的参数，包括脉冲输出启用和回原点启用。具体参数设置可参考相关图片或手册。
编写PLC程序
在PLC程序中，需要将伺服参数与PLC控制逻辑关联起来。例如，如果每转脉冲数设置为4000，导轨导程为2mm，则PLC应发送10000个脉冲来实现5mm的定位。
实现伺服JOG定位，在手动JOG时直接调用相对定位功能，并设置较大的脉冲数以提高定位精度。
编写回原点程序，直接调用指令并设置回原点速度。
实现伺服定距定位控制，当伺服回到原点并确认无误后，使用绝对定位控制来测试伺服走设定距离的定位。在指令中，可以使用定位完成信号（如M150）来确认每次定位的完成，并在每次定位前将其复位。
通过以上步骤，您可以完成三菱5U控制伺服电机的编程。确保在编写程序时仔细检查参数设置和逻辑关联，以实现精确的伺服控制。