如果三座标测量机无法编程，可以尝试以下步骤来解决问题：
检查编程错误
仔细检查编程代码，确保没有坐标点输入错误、程序逻辑错误等。
检查语法错误，如拼写错误、缺少分号、括号不匹配等。
校准设备和机械结构
提高设备和机械结构的精度和稳定性，确保坐标轴的位置和运动的准确性。
使用高精度的测量设备对坐标轴进行测量，及时校正坐标轴位置。
检查传感器
确认传感器的连接是否正常，是否存在损坏或松动的情况。
如果传感器出现故障，需要及时更换或修理传感器。
检查机械部件
检查机械部件的运动是否顺畅，是否存在损坏或松动的情况。
如果发现故障，需要及时维修或更换机械部件。
检查软件
确认软件的版本是否正确，是否存在bug或兼容性问题。
如果发现问题，可以尝试重新安装或更新软件。
优化编程算法
优化编程算法，减少编程误差。
检查系统通信
确保控制系统与测量机之间的通信正常，没有数据传输错误。
参考用户手册和技术支持
查阅三座标测量机的用户手册，了解具体的操作步骤和故障排除方法。
如果以上步骤都无法解决问题，可以联系技术支持寻求帮助。
通过以上步骤，可以逐步排查并解决三座标测量机无法编程的问题。