蔡氏三坐标测位置度的编程步骤如下：
建立工件坐标系
包括附加坐标系、基本坐标系、元素坐标系、机器坐标系等。
建立安全平面
选择一个参考坐标系，并将CMM的当前探针移动到零件的上、右和后方以外10mm的位置，然后记录当前的X、Y和Z坐标。
采集测量元素
包括自动识别元素、构造元素、从模型上采集元素等。
元素策略及评定设置
根据需要设置元素的测量策略和评定标准。
输出测量特性
包括基本输出、角度输出、距离输出、形状输出、位置输出等。
安全五项检查
包括安全平面、安全距离、回退距离、探针组的设定、探针的设定等。
程序运行
将检测一个零件所需要的全部操作按照其执行顺序编程，以文件形式存入磁盘，检测时按运行程序控制三坐标测量机自动检测。
实施测量
首次运行程序时要注意减速运行，确定编程无误后再使用正常速度，注意观察是否有异常响声或气味，如有异常应立即按“紧急停”按钮。
存档和关闭设备
检测完成后，将测量程序和程序运行参数及测头配置等说明存档，然后关闭电源及压力阀，取下测头。
这些步骤涵盖了从准备工作到程序编写、运行和存档的整个过程，确保了三坐标测量位置的准确性和可靠性。建议在实际操作中，根据具体零件的尺寸和形状，以及测量要求，仔细规划和调整程序参数，以达到最佳的测量效果。