撤销决定送达程序主要包括以下几种方式：
直接送达：
行政机关直接将执法决定等法律文书送达给受送达人，是最基本最常用的一种送达方式，受送达人在送达回证上的签收日期为送达日期。
留置送达：
受送达人拒收法律文书时，行政机关依照法律规定的程序把执法决定留放在受送达人住所的送达方式。
委托送达：
行政机关委托有关组织或者单位代为送达法律文书。
邮寄送达：
当行政机关直接送达法律文书有困难时，也可以采取邮寄送达的方式送达。采取邮寄送达时，应当注意：在直接送达有困难时，才能采用邮寄送达；邮寄送达的，以回执上注明的收件日期为送达日期；邮寄送达，应当附有送达回证。
转交送达：
行政机关将法律文书通过受送达人的同住成年家属、单位或者其他有关组织转交给受送达人。
公告送达：
在受送达人下落不明或者用其他方式无法送达的情况下，行政机关通过公告将执法决定有关内容告知受送达人的一种特殊的送达方式。公告期间，受送达人可以到本机关领取法律文书原件。
具体送达程序如下：
当场交付：
行政处罚决定书应当当场交付当事人，当事人不在场的，行政机关应当在7日内按照民事诉讼的送达方式送达。
无法联系：
如果通过预留的联系方式或通讯地址无法与受送达人取得联系，行政机关可以采取公告送达方式，自公告之日起满60日则视为送达。
审批程序：
作出撤销决定后，需要填写《撤销行政许可决定审批表》，将听证笔录连同案卷材料报主管县长审批，作出是否撤销行政许可决定，并制作并送达行政许可撤销决定书。
送达回证：
送达撤销决定书时，应当附有送达回证，确保送达的有效性。
救济途径：
当事人或利害关系人自接到撤销决定书之日起60日内可向上级行政机关申请行政复议或在三个月内直接向人民法院提起行政诉讼。
这些程序确保了撤销决定的合法性和有效性，保障了当事人的合法权益。