子程序调用可以通过以下几种方式终止：
返回上一层主调用程序
子程序执行完毕后，可以使用`RETURN`语句或`RTS`指令返回上一层主调用程序。
退出整个系统
如果需要终止子程序并退出整个系统，可以使用`GOBACK`或`EXIT PROGRAM`语句。
使用中断方式
在PLC编程中，可以通过中断方式来终止子程序。在中断子程序末尾使用`FUN69:RTI`指令返回表示结束。
外部控制
可以通过外部设备（如PLC的DI点）来控制子程序的调用和停止。例如，使用一个未使用的位地址或V地址来强制停止子程序的调用。
使用Timer控件
在某些编程环境中，可以使用Timer控件来控制子程序的调用和停止。例如，在定时器的到时事件中设置某个标志位，然后根据该标志位的状态来决定是否继续调用子程序。
线程终止方法
如果子程序是线程的一部分，可以使用线程终止的方法，如调用`exit`、`pthread_exit`、`pthread_kill`或`pthread_cancel`来终止子线程。
根据具体的应用场景和编程环境，可以选择合适的方法来终止子程序调用。在实际编程中，建议根据需求选择最合适的终止方式，并确保程序能够正确、安全地终止。