加工内圆球刀尖半径补偿的编程步骤如下：
设置刀具半径补偿类型
对于内圆球加工，通常使用刀尖半径补偿类型（G42）或取消（G40）。
设定刀具刀尖半径补偿值
输入刀具刀尖半径补偿值（D值），即刀具刀尖半径的大小。
在切削轨迹前加入刀尖半径补偿指令
在切削轨迹前面（G01指令的后面），加入刀尖半径补偿指令（G42 X… Y… D…）或取消指令（G40）。
确定补偿方向
根据刀具在工件中的位置，选择合适的补偿方向。如果刀具在加工轮廓的左侧，应选择左补偿（G41）；如果在右侧，则选择右补偿（G42）。
计算补偿值
补偿值 = 刀尖半径 – 实际刀具半径。确保单位统一，通常使用毫米或英寸。
编程方式的选择
可以选择直接编程方式或G代码编程方式。直接编程方式是在程序中显式添加刀尖半径补偿指令，而G代码编程方式是通过设置G代码来实现。
编写数控程序
在数控程序中，在需要进行半径补偿的位置加入相应的G42或G40指令，并确保在加工结束后使用G40指令关闭刀具半径补偿。
示例程序
```gcode
； 初始化
O0001
N10
G99
G40
G21
； 刀具半径补偿设置
N20
T0101
； 转1号刀，执行1号刀补
N30
M03
S1000
； 主轴转速1000r/min
N40
G00
X0
Z10.0
； 快速定位到切入位置
N50
G42
G01
X0
Z0
F0.1
； 建立刀补，半径补偿值为1.0mm
N60
X40.0
； 沿X轴移动到加工位置
N70
Z-18.0
； 沿Z轴下降18.0mm
N80
X80.0
； 继续沿X轴移动
N90
G40
G00
X85.0
Z10.0
； 取消刀补，返回参考点
N100
G28
U0
W0
； 返回参考点
N110
M30
```
请根据具体的数控设备和编程软件调整上述程序中的参数和指令。