执行异议审查程序主要包括以下几个步骤：
受理条件审查
案外人对执行标的物主张排除执行的民事权益，应依据《民事诉讼法》第234条提出书面异议。
符合立案条件的，执行法院立“执异”案号进行审查，并作出是否中止执行的执行裁定。
案外人、当事人不服该执行异议裁定的，可在执行裁定书送达之日起十五日内，向执行法院提出执行异议之诉。
案外人未经前置执行异议程序，不得直接提出案外人执行异议之诉。
形式要件审查
执行法院在接受执行异议后，首先要审查执行异议是否符合法律规定的形式要件，例如是否书面提起，口头提起的是否记录在案，异议是否由案外人提起，异议是否对执行的标的主张权利，是否提供了必要的证据等。
实体审查
对异议理由成立与否进行审查。对执行异议的证据应由案外人与被执行人或相关人质证，必要时可采取执行听证的形式，由双方举证、质证。
合议讨论
对执行异议的审查处理是执行程序中的重大事项，应由三名以上执行员合议讨论，并应报经院长批准。
审查结果
对执行异议审查后，认为理由成立的，应报院长批准，依法裁定中止执行。即使经审查认为异议不成立，直接裁定驳回异议的，也应报院长批准。
执行措施
在执行异议的审查期间，执行法院可以对有异议的执行标的物，采取查封、扣押、冻结等控制性执行措施，但不得采取处分性执行措施。
上级法院审批
对案外人提出的执行异议，如果涉及上级法院生效的法律文书指定交付标的物，需要裁定中止执行的，应分别进行处理，并报请上级法院审批。
复议程序
当事人或利害关系人对裁定不服的，可以自裁定送达之日起十日内向上一级人民法院申请复议。
以上是执行异议审查程序的主要步骤和要点。建议在实际操作中，严格按照法律规定和程序进行，以确保审查的公正性和合法性。