先行处理程序是指赔偿请求人在向人民法院单独提起行政赔偿诉讼前，应先向行政赔偿义务机关请求赔偿，由行政机关依法先行处理，对赔偿处理结果不满意或者赔偿义务机关不处理，赔偿请求人才可以向人民法院提起行政赔偿诉讼。
具体来说，先行处理程序包含以下几个步骤：
赔偿请求的提出 ：赔偿请求人应向有关的赔偿义务机关提出赔偿请求，可以书面或口头形式，并需要提供相关的证据材料。赔偿义务机关的先行处理：
赔偿义务机关在收到赔偿请求后，应进行必要的审查，并在法定期限内作出处理决定。处理决定可以包括赔偿的范围、方式、金额等。
对处理结果的处理
如果赔偿请求人对赔偿义务机关的处理结果满意，则争议解决，无需进一步的法律程序。
如果赔偿请求人对处理结果不满意，或者赔偿义务机关在法定期限内未作出处理决定，赔偿请求人可以选择向人民法院提起行政赔偿诉讼。
法院的受理：
在赔偿义务机关拒绝确认加害行为的违法性或逾期不赔偿的情况下，受害人可以直接向人民法院提起行政赔偿诉讼，法院将依法进行审理并作出判决。
先行处理程序的意义在于：
为赔偿义务机关自我纠正错误提供机会，体现对赔偿义务机关的尊重，同时也有利于加强行政机关的内部监督。
有利于迅速解决赔偿争议，减少受害人的诉累，节约司法资源。
手续简便、及时，从根本上有利于减少赔偿义务机关和受害人的支出。
根据《中华人民共和国国家赔偿法》第九条第二款和《最高人民法院关于审理行政赔偿案件若干问题的规定》第四条第二款、第二十一条第（5）项的规定，赔偿请求人在提起行政赔偿诉讼前，必须先经过赔偿义务机关的先行处理。
综上所述，先行处理程序是行政赔偿请求人向人民法院提起诉讼前必须经过的一个重要环节，旨在通过行政机关的先行处理，高效、便捷地解决赔偿争议。