ISO 14644-1国际标准
ISO Class 1： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um
ISO Class 2： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：10 24 10 4 100 237 102 35 8
ISO Class 3： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：1,000 237 102 35 83 10,000 2,370 1,020 352 832
ISO Class 4： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：10,000 2,370 1,020 352 832 300,000 10,500,000 60,000 1000 15
ISO Class 5： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：100,000 23,700 10,200 3,520 832 300,000 105,000,000 10500 0.1
ISO Class 6： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293,000 2930 0.01
ISO Class 7： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：352,000 83,200 2,930 29,300 832,000 29300 0.001
ISO Class 8： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：3,520,000 832,000 29,300 293,000 832,000 293000 0.0001
ISO Class 9： 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）：35,200,000 8,320,000 293,000 293,000 832,000 2930000 0.00001
洁净度等级与颗粒数对照
100级（100级）：大于等于0.5μm的尘粒数3,500个/立方米，大于等于5μm的尘粒数0个/立方米
1000级（1000级）：大于等于0.5μm的尘粒数3,500到35,000个/立方米，大于等于5μm的尘粒数0到300个/立方米
10000级（10000级）：大于等于0.5μm的尘粒数35,000到350,000个/立方米，大于等于5μm的尘粒数300到3,000个/立方米
100000级（100000级）：大于等于0.5μm的尘粒数350,000到3,500,000个/立方米，大于等于5μm的尘粒数3,000到30,000个/立方米
300000级（300000级）：大于等于0.5μm的尘粒数3,500,