十万级无尘车间的标准主要包括以下几个方面:
空气洁净度
十万级无尘车间的空气洁净度应达到ISO 14644-1标准中的Class 8级别要求,即每立方米空气中的固体颗粒物数量(粒径大于0.5微米)不超过3,520,000个,即不超过352万个。
另一种表述为,每立方米空气中直径大于或等于0.5微米的微粒数不能超过10万个,但通常这指的是一个更为宽泛的概念,实际标准以不超过352万个为准。
温湿度控制
车间的温度通常保持在20-24摄氏度之间(也有标准提到20℃-26℃)。
相对湿度控制在45%-60%之间(也有标准提到40%-60%)。
空气流速
车间内应保持适当的空气流速,以确保空气的循环和过滤,通常的空气流速范围为0.25-0.45米/秒。
新风量和送风量
由于十万级无尘车间内人员较多,需要较大的送风量。例如,300平米的车间,吊顶高度为2.5米时,送风量需达到15000m³/h(换气次数≥15次/h)。
非单向流洁净室总送风量的10-30%,以保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m³/h。
净化设备
车间内需要适当的净化设备,如高效过滤器、空气调节装置、空气净化器等,以确保空气中的颗粒物和污染物得到有效控制和过滤。
地面和墙面材料
车间的地面、墙面和天花板等表面材料应具备抗静电、易清洁、无粉尘聚集的特性,材料本身不应产生对产品造成污染的物质。
通风系统
车间内需要良好的通风系统,以保证空气的循环和流动,有效排除污染物和异味。
人员防护
进入无尘车间的人员需进行更衣、洗手、风淋等程序,确保身上无尘带入车间。
压差控制
相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。
这些标准共同确保了十万级无尘车间在空气洁净度、温湿度、空气流速、通风系统、人员防护和压差控制等方面的高标准,从而满足高科技制造业中对洁净环境的需求,特别是在半导体芯片的生产过程中。