全站仪坐标测量步骤如下：
架设仪器并检查相关设置
安置全站仪并确保其稳固。
检查并设置水平角观测、垂直角观测和距离观测的相关参数，包括棱镜常数、大气改正值或气温、气压值等。
进入坐标测量状态
按下“MENU”键，选择“数据采集”。
输入测站点信息，包括点号、仪器高，并保存。
设置后视点，输入后视点的坐标或方位角，并保存。
测量操作
照准目标棱镜，按“坐标测量”键进行测量，全站仪会显示测点的三维坐标。
如果需要测量其他点，重复上述步骤，并确保每次测量前输入正确的棱镜高。
水平角测量 （如果需要）：按角度测量键，设置第一个目标的方向为0°00′00″。
照准第二个目标，读取水平度盘读数，得到水平夹角。
距离测量
（如果需要）：
设置棱镜常数，并进行距离测量。
数据记录与处理
测量完成后，检查所有设置是否正确，确保观测数据的可靠性。
记录所有测量数据，并进行必要的计算和处理。
结束测量
测量结束后，按“是”保存数据，并关闭全站仪。
通过以上步骤，可以完成全站仪的坐标测量。建议在实际操作中，严格按照步骤进行，并在每次测量前后进行必要的检查和记录，以确保测量数据的准确性和可靠性。