启动三坐标程序的设备步骤如下：
打开气源：
确保气源供应正常，气压达到设备要求。
开启电脑及三坐标主机电源：
打开计算机和三坐标测量机的电源。
打开三坐标软件：
启动三坐标测量机上的测量软件，如PC-DMIS或Calypso。
加载伺服：
确保伺服系统已加载并准备就绪。
按“自动”：
在软件界面上选择自动运行模式。
回零操作：
进行三坐标回零操作，确保测量机处于正确的初始位置。
对于特定类型的三坐标测量机，如蔡司三坐标，开机步骤可能略有不同：
检查温湿度：
确保工作环境的温度和湿度符合要求。
打开总电源、总气源：
包括稳压电源、UPS、空气过滤器等。
安装并打开蔡司三坐标：
启动测量机。
进入操作系统：
打开计算机并进入Windows 2000/XP系统。
登录软件：
双击桌面上的快捷图标，登录Calypso软件，并进行机器回零。
打开或新建测量程序：
开始进行测量任务。
建议在开机前仔细检查设备的状态，确保所有部件都处于正确位置并连接正常，以减少故障和测量误差。