建立设备软件档案的步骤如下：
确定档案内容
根据设备的特点和实际需求，确定需要记录的档案信息。这些信息包括设备的名称、型号、类别、品牌、供应商、购置日期、购置金额、保修期、所属部门、负责人、位置、使用状态、维修记录、保养记录、巡检记录、使用备件、设备技术资料等。
整理设备信息
盘点现有设备，对设备账进行更新。记录设备的基本信息，如制造商名称、型号、出厂编号、设备是否符合规范等，并收集设备从购入到使用过程中产生的所有相关文档资料，例如购置合同、验收报告、使用说明书、合格证书、设备结构图等。
建立设备台账和备件台账
使用信息管理系统来管理设备档案，记录设备的数量、存放位置、使用状态等信息，以及备件的名称、规格、数量、存放位置等。这样可以更加高效、准确和便捷地进行档案管理。
录入和整理设备资料
将收集到的设备资料进行系统归类编号，建立台账，分类存放。确保帐物相符，科学管理，便于查阅。对于需要保密的图纸、文件及进口关键设备，需经过设备动力部领导批准才能查阅和复制。
设备软件识别与记录
记录设备及其软件的识别信息，包括制造商名称、型号、出厂编号、设备是否符合规范、存放位置、制造商的说明书或存放地点、所有检定/校准、核查报告和证书、设备维护计划及维护记录、设备的损坏、故障、改装或修理记录等。
定期更新和维护
对设备档案进行修改和更新，并及时记录和跟踪，确保各个档案的信息都是最新和准确的。定期对档案进行备份和存储，保障档案安全。
建立权限管理和访问制度
根据电子档案的保密等级和重要性，建立权限管理和访问制度，规范档案的使用和访问，确保档案的安全性。
通过以上步骤，可以系统地建立和维护设备软件档案，确保设备信息的完整性、准确性和安全性，从而提高设备管理的效率和决策水平。