电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）是一种将电感耦合等离子体（ICP）的高温电离特性与质谱（MS）的高灵敏度检测功能相结合的分析技术。其工作原理主要包括以下几个步骤：
样品引入与雾化
样品通常以液体形式通过雾化器进入仪器，并转化为细小的雾滴。这个过程依赖于喷雾室的喷嘴和气流系统，将液体样品转化为气体状态。
电感耦合等离子体（ICP）
雾化后的样品气溶胶通过载气（通常是氩气）输送至ICP源。ICP由一个高频交流电源和一个水冷的环形电极组成。在电源的激励下，气体在电磁场的作用下被激发，形成高温（约6000-8000 K）的等离子体。
高温等离子体使样品中的元素转化为原子或离子状态。由于电离效率较高，仪器能够检测到元素的低浓度。
离子传输与质量分析
离子化后的样品通过质谱仪的接口进入质谱系统。带电的离子通过电场被传输至质谱仪的四极杆分析器。四极杆质谱分析器是一种能够根据离子质量/电荷比（m/z）选择性过滤离子的装置。
离子通过四极杆之后，进入检流器进行检测。常用的检流器是电离子计（例如，电子倍增管），它能够有效地放大信号，并实时记录离子的数量。
检测与数据处理
检测器记录每种离子的信号强度，信号强度与元素浓度成正比。数据处理软件将信号转化为定量分析结果。
ICP-MS具有高灵敏度、高准确性和宽线性范围，适用于多种元素（包括痕量和超痕量元素）的定性和定量分析。它广泛应用于自然资源勘探、环境和监管、医疗和制药、材料和冶金、核和纳米技术等领域。