三省六部制最早起源于 隋朝，由隋炀帝初创，并在唐朝时期得到了进一步的完善。这一制度在隋唐至宋的时期成为中央最高政府机构，其核心组成部分包括中书省、门下省和尚书省，以及尚书省下属的吏部、户部、礼部、兵部、刑部和工部。
具体来说，三省六部制的形成和发展过程如下：
雏形产生：
三省六部制的雏形可以追溯到南北朝时期的北周，但当时并未形成完整的制度。
正式确立：
隋朝时期，三省六部制正式确立，隋炀帝对其进行了初步的改革和整合。
完善发展：
唐朝时期，三省六部制得到了进一步的完善，成为中央官制的核心，权力分配和职责明确，达到权力分散和相互制衡的效果。
沿袭至清末：
从唐朝开始，三省六部制一直沿用至清朝末期，六部制基本保持不变，但三省的权力和职责在不同朝代有所调整。
综上所述，三省六部制初创于隋朝，完善于唐朝，并在此后一直到清末，六部制基本沿袭未改。