使用9814探针编程主要涉及以下步骤：
加工环境选择
在加工环境中选择“PROBING”模式。如果添加工序时未选择，则选择“PROBING”是一样的。
选择探测部件
选择需要探测的部件，如铣削部件，刀具可不用选。
选择探测参数
设置默认避开距离，根据实际情况设置，如未选择刀距，需设置为大于实际使用的探针半径。
添加探测工序
添加探测工序点位，选择探测点功能，并把面上的点过滤器打开，然后需要探测哪里就点哪里。
圆孔圆柱探测方法
选择探测圆柱功能，选择圆孔或圆柱面。
设置深度，默认为中点，即孔或柱中间，可设置为数值，为孔或柱顶面向下的距离。
设置角度，自动为调用O9814四点测圆，指定三个角度为调用O9823测量（O9823为矢量探测功能，需提前用环规对探针进行标定）。
设置避开距离，这里默认的是第四步设置的值，如不合适可修改为其他值。
这些步骤涵盖了从选择加工环境到具体探测参数设置的整个过程，帮助用户有效地使用9814探针进行编程。建议在实际应用中根据具体需求和加工环境调整参数，以确保探测的准确性和效率。