先予执行的程序包括以下几个步骤：
申请
先予执行只能由权利人向受诉人民法院以书面形式提出，法院不能在没有权利人提出申请的情况下依职权主动采取先予执行措施。
担保
人民法院可以责令申请人提供担保，如果申请人拒不提供担保，法院可以驳回其申请。担保不是必须的，是否要求申请人提供担保由法院自由裁量。
审查
人民法院对当事人提出的先予执行申请应当进行审查，审查的内容主要包括两个方面：一是申请先予执行的案件是否属于先予执行的范围；二是申请是否符合先予执行的条件。法院对符合先予执行条件的申请，应当及时作出先予执行的裁定。
裁定及执行
先予执行的裁定一经送达当事人，即发生法律效力。义务人不服可以申请复议一次，但复议期间不停止先予执行裁定的效力。义务人应当依裁定履行义务，拒不履行义务的，人民法院可以根据权利人的申请或依职权决定采取执行措施强制执行。
最终处理
人民法院先予执行后，根据发生法律效力的判决，申请人应当返还因先予执行所取得的利益。如果拒不返还，法院可以采取执行回转措施，即作出裁定，责令取得财产的人返还；拒不返还的，强制执行。
总结起来，先予执行的程序依次为申请、担保、审查、裁定及执行、最终处理。申请人需向法院提交书面申请，法院审查是否符合条件后作出裁定，裁定生效后义务人应履行义务，拒不履行可申请复议或强制执行。