离子泵的程序通常涉及一系列步骤,以确保泵的正确操作和性能。以下是一个基本的离子泵操作程序:
准备工作
拆开离子泵包装,并确保所有部件安全放置。
连接离子泵到离子泵控制器,并打开控制器和HV(高压)开关。
初始检查
确认离子泵控制器显示供电电压和电流,并确保电流在正常范围内(例如,10^-6 A)。
检查是否有漏气现象,如果电流过高且无法下降,可能存在漏气问题。
充气过程
拆开红色塑料夹扁铜管密封套,并套上一个塑料袋。
通过小孔充入干燥的氮气,直到氮气充满整个袋子。
侧放离子泵,避免打开夹扁铜管时铜屑掉入泵中。
打开铜管,并重新直立放置离子泵,拆除塑料袋。
泵体拆卸
紧紧握住泵体,拆下法兰上的6颗螺丝。
拆下6颗螺丝后,用一颗螺丝将顶起螺孔中的顶起螺钉上紧,直到铜管法兰从泵体法兰上脱离。
电流监测
在2小时内,确保电流值低于以下数值:
20 l/s ion pump: 40 nA
40/55/75 l/s ion pump: 70 nA
150 l/s ion pump: 150 nA
工作状态
离子泵在正常工作状态下,通过电场和热碰撞将气体分子离子化,并通过静电吸附将离子排除,从而实现真空系统的排气。
控制器设置
使用安捷伦4UHV和IPCMini控制器时,预设程序会自动将电流读数转换为压力,确保在低压范围内得到准确读数。
请注意,这些步骤可能因具体的离子泵型号和控制器类型而有所不同。在操作过程中,务必遵循制造商提供的操作手册和安全指南,以确保安全和设备的正常运行。