法律程序的内在价值是指 人们判断一种法律程序本身是否具有某些内在的优秀品质或善的标准。这些品质或善是独立于程序能否产生好的结果而存在的，例如公正、理性、人格尊严等。法律程序不仅仅是一种实现实体结果的手段，它作为一个过程，应当具有其内在的善，这些善并不取决于能否产生某种好的结果。判断程序本身是否正当、合理的标准，要独立于评价程序结果的价值标准。因此，一种法律程序无论是否具有产生好结果的能力，只要它本身具备一些独立的价值品质，就应当认为具有价值，即作为目的的价值。
具体来说，民事诉讼程序的内在价值包括：
程序公正：
指每个人在民事诉讼面前都享有同样的程序权利，不因个人等级而有所区别。
程序安定：
指诉讼程序不受其他个人或组织的干涉，确保每个人在程序面前都是公平公正的。
程序效益：
指每个人在民事诉讼程序里都享有同样的权益，确保程序的效率和效益。
这些内在价值是法律程序本身所固有的，不依赖于程序能否达到某种具体的结果，而是关注程序本身是否公正、合理和尊严。