土方回填的程序主要包括以下几个步骤：
基层清理
清除作业面的建筑材料、施工垃圾等杂物。
检查并清理基础内部的杂物，如加固螺杆等，并进行防锈处理。
检验土质
检查回填土的质量，包括是否有杂物、粒径是否符合规定以及含水量是否在控制范围内。
测量放线
根据设计要求，在作业面上测量并放出土方分层虚铺厚度的控制线。
分层铺土
采用推土机或装载机按照分层控制线摊铺虚土，并将回填土中的杂物清理干净。
每层铺土厚度应根据土质、密实度要求和机具性能确定。
分层夯实
大面采用压路机振动碾压密实，碾压次数一般为3-4遍。
柱边、基坑边、墙边等机械无法碾压到的部位，采用柴油打夯机进行人工夯实。
每层夯实完成后，进行压实度检测，合格后再进行下一层铺土。
检验密实度
每层土方回填压实完成后，进行密实度检测，确保达到设计要求。
修正、找平、验收
对回填土进行修正、找平，并进行最终验收。
特殊部位处理
对于肥槽回填，基础墙体达到一定强度后方可回填，避免单侧堆放重物或行走重型机械设备。
长宽较大时，回填长度每15m为一段，每层接缝处应制作成阶梯形，碾迹重叠0.5~1.0m，上下层错缝距离不应小于1m。
质量控制
在回填过程中，及时检测含水率，并根据需要进行调整，如翻晒或洒水。
每层压实度检测合格后，再进行下一层回填。
记录与文档
在回填过程中，记录每层铺土厚度、压实遍数等数据，以便后期查阅和质量追溯。
这些步骤确保了土方回填的质量和稳定性，防止后期出现质量隐患。建议在实际施工过程中，严格按照上述程序进行操作，并在必要时进行调整和优化。