厂房拆迁需要遵循一定的法律程序，以确保被拆迁人的合法权益得到保障。以下是厂房拆迁的主要程序：
申领房屋拆迁许可证：
拆迁人需要向房屋所在地的市、县人民政府房屋拆迁管理部门提出房屋拆迁许可申请，并在获得批准后取得房屋拆迁许可证。
发布拆迁公告：
房屋拆迁管理部门在核发房屋拆迁许可证时，应当将房屋拆迁许可证中载明的拆迁人、拆迁范围、拆迁期限等事项，以房屋拆迁公告的形式予以公布。
书面通知拆迁范围内的被拆迁人：
拆迁人应当书面通知拆迁范围内的被拆迁人，并进行补偿登记。
拟定补偿安置方案并公告：
房屋征收部门会拟定征收补偿方案，并在经过有关部门的论证、修改后，进行公告（不少于30天）征求公众意见。
召开听证会：
如果多数人认为公告的补偿方案不合理，征拆部门应当组织召开听证会，并根据相关法律法规、听证会的情况修改补偿方案。
房屋评估：
征拆方和被征拆迁人在规定时间内共同选择评估机构，并进行房屋评估，评估机构依法出具分户评估报告。被征拆人对评估结果有异议的，可以在收到评估报告10日内提出复核申请，对复核结果仍然有异议的，可以在收到复核结果10日内向专家委员会提出鉴定。
签订征拆补偿协议：
征拆方和被征拆人针对安置补偿达成一致，在规定期限内签订安置补偿协议，同时收回相关权属证书。
作出征拆补偿决定：
如果征拆方和个别被征拆人针对安置补偿没有达成一致，征拆方将会针对个别被征拆人作出征拆补偿决定。被征拆人对补偿决定不服的，可以依法申请行政复议，或者依法提起行政诉讼。
搬迁、拆除程序：
在补偿协议签订后，拆迁人应当按照协议约定的时间和方式进行搬迁和拆除工作。
以上是厂房拆迁的主要程序，具体操作过程中还需根据当地政策和实际情况进行调整。建议在拆迁过程中咨询专业律师，以确保拆迁过程的合法性和顺利进行。