编写扫描平面的CNC程序需要遵循以下步骤：
确定扫描参数
扫描速度：根据机床的性能和工件的加工要求设定，通常以毫米/分钟（mm/min）为单位。
扫描深度：确定每次扫描的深度，这取决于工件的尺寸和刀具的直径。
扫描路径：明确扫描的路径，可以是直线、圆弧或其他复杂的路径。
编写程序头
确定程序的起始点和结束点。
设置工件坐标系和工具坐标系（如果需要）。
编写扫描循环
使用适当的G代码指令，例如G71、G72、G73等，来定义扫描的参数和路径。
设置扫描的起始位置和结束位置。
编写刀具路径
根据工件的几何形状和扫描要求，详细编写刀具的路径。
使用G00或G01指令进行快速定位和直线插补。
编写扫描参数
在循环中设置扫描速度和深度。
如果需要，设置刀具补偿和刀具半径补偿。
编写结束和返回程序
完成扫描后，编写程序结束指令，如M30。
如果需要，编写刀具返回到安全位置的指令。
示例程序结构
```cnc
； 程序头
G90 ； 设置为绝对坐标系
G17 ； 设置工作平面为XY平面
G21 ； 设置单位为毫米
； 设置工件坐标系（如果需要）
G54 ； 设置工件坐标系原点
； 设置扫描参数
%
% 扫描速度： 100 mm/min
% 扫描深度： 0.5 mm
% 扫描路径： 直线
%
； 扫描循环
G71 U0.2 W0.3
G01 X10 Y20 F100
G72 P100 Q200
G01 X30 Y40
G72 P200 Q100
G01 X10 Y20
； 刀具路径
G00 X0 Y0
G01 Z0.1
% ... 其他刀具移动指令
； 结束和返回
M30
```
建议
精度和速度平衡：在编写程序时，确保扫描速度和深度的平衡，以避免工件表面受损或加工不彻底。
刀具选择：根据工件材料和加工要求选择合适的刀具，并确保刀具半径和补偿设置正确。
测试和验证：在实际加工前，进行模拟测试以验证程序的正确性，并进行必要的调整。
通过以上步骤和示例，你可以根据具体的机床型号和加工要求编写出合适的扫描平面程序。