全站仪隧道放样的编程步骤如下：
准备工作
将全站仪平稳放置在测试站点位置，取好测试距离，避开路面不平凹凸位置。
开启全站仪电源，屏幕显示垂直过零。
进入放样程序
转动望远镜，按MUNE菜单键进入菜单界面。
按F2进入角度测量程序界面。
按S.O键，按F3进入放样程序进行坐标放样。
输入测站点信息
按F1输入测站点，屏幕显示测站点名。
按F3（坐标提示）依次输入N,E,Z坐标位置，输入完成再按ENT键。
输入仪器高
按F1键，屏幕显示输入位置——，再按键盘上数字键输入具体的放样NEZ坐标数值。
重复输入一次NEZ坐标值，再按回车键。
按F1键，屏幕显示输入位置——，再按键盘上数字键输入全站仪仪器高，输入完成按ENT键，确认输入数值。
输入后视点
按F2键，依次输入后视点。
按F3键，屏幕显示：输入N,E坐标值后，照准棱镜，仪器发出响声。松开水平和垂直制动螺旋，上下转动全站仪器，调整确认后视点。
按F4键，确认全站仪测量现场的方位，屏幕进入坐标放样1/2菜单。
输入放样点
按F3键，进入放样点界面，屏幕显示放样点名。
按F3键，依次输入N,E,Z坐标位置。输入完成按F4键进行确认回车。
屏幕显示全站仪棱镜的高度数值，按F1键，输入棱镜高度数值，输入完成按F4键回车确认。
按F4回车继续，确认屏幕显示角度差为0。
确认放样参数
确认所有输入数据无误后，按F4键确认放样参数计算。
屏幕显示角度差调为零，完成放样程序。
通过以上步骤，可以实现全站仪隧道放样的编程操作。建议在实际应用中，根据具体测量需求和现场条件，调整放样参数和步骤，以确保放样精度和效率。