三坐标测量机（CMM）是一种在三维空间内测量物体尺寸和形状的精密测量设备。它通过建立一个三维坐标系，并利用测头在坐标系中移动来测量物体表面上的点。三坐标测量机可以用于测量平面度，即物体表面是否平整，以及平面内的不规则性。
要使用三坐标测量机测量平面度，通常需要遵循以下步骤：
建立坐标系：
首先需要在测量区域内建立一个准确的三维坐标系。这通常通过使用三个不在一条直线上的点来确定坐标系的三个轴（X, Y, Z轴）。
规划测量路径：
根据被测平面的大小和形状，规划出测量的路径。这可能包括选择合适的点、线或面来确保覆盖整个平面。
执行测量：
按照规划的路径，使用三坐标测量机的测头在物体表面采集一系列点的坐标数据。
数据处理：
收集到的数据需要进行处理，以确定平面度。这通常涉及到计算点的偏差、拟合平面以及评估平面度公差。
结果评估：
最后，根据测量数据评估平面度，确定是否满足特定的公差要求。
在编程测量平面度时，可以使用不同的编程语言和软件，如蔡司的Calypso、Siemens的NX、Dassault Systèmes的SolidWorks等。编程时，需要定义测量任务、选择合适的测量策略、设置公差和输出格式等。
例如，使用蔡司的三坐标测量机，可以通过以下步骤编程测量平面度：
1. 建立工件坐标系。
2. 建立安全平面。
3. 采集测量元素，包括自动识别元素、构造元素和从模型上采集元素。
4. 设置元素策略及评定标准。
5. 输出测量特性，如基本输出、角度输出、距离输出、形状输出和位置输出。
6. 进行安全五项检查，确保测量过程中的安全。
在实际应用中，可以根据被测工件的具体情况和测量要求，选择合适的测量方法和编程策略。