在Mastercam中编程内圆弧，可以采用以下步骤：
选择圆弧指令
使用`G02`指令来指定顺时针圆弧。
使用`G03`指令来指定逆时针圆弧。
指定圆弧参数
起点和终点坐标：确定圆弧的起始点和终止点。
半径：指定圆弧的半径大小。
进给速度：设置圆弧沿圆心移动的速度。
圆心坐标
如果使用半径编程，需要指定圆心的坐标。
如果使用向量编程，则需要指定起点、终点和切向量。
编写G代码
在Gcode代码中，使用`G02`和`G03`指令分别表示顺时针和逆时针圆弧进给。
可以指定圆心坐标、半径和起始点终点坐标等参数。
```gcode
G90 ； 设置绝对坐标模式
G21 ； 设置以毫米为单位
G54 ； 选择工作坐标系
； 设置初始点坐标
X100 Y100
； 开始圆弧插补
G02 X200 Y200 I50 J0 F100 ； 顺时针插补，终点坐标（200, 200），圆心偏移量（50, 0），进给速度100
； 结束程序
M30
```
在这个示例中：
`G90` 设置为绝对坐标模式。
`G21` 设置为以毫米为单位。
`G54` 选择工作坐标系。
`X100 Y100` 设置初始点坐标。
`G02 X200 Y200 I50 J0 F100` 指定顺时针圆弧，终点坐标为（200, 200），圆心偏移量为（50, 0），进给速度为100。
`M30` 结束程序。
通过以上步骤和示例程序，可以在Mastercam中编程内圆弧。根据具体的加工需求和机床类型，可能需要对程序进行进一步的调整和优化。