外资能源项目的审批程序通常包括以下几个步骤：
项目建议书申报
项目主办单位需向相关审批机关提交项目建议书。
对于中外合资或合作项目，项目建议书需经过省级电力管理部门或其授权单位的审查通过。
可行性研究报告审批
编制可行性研究报告并进行审查。
审查通过后，项目主办单位需将报告提交给相关审批机关进行审批。
企业设立申请
准备企业设立申请书、可行性研究报告等相关材料。
提交给当地工商局，由其在90天内作出审批决定。
合同和章程审批
完成合同和章程的审批。
审批通过后，方可进行下一步的投资活动。
外商投资审查
若外资收购德国绿色能源企业股权超过10%，可能需要接受德国外商投资审查，特别是在关键基础设施领域。
项目许可
可再生能源项目需要获得地方政府和联邦政府的多项许可，包括环境评估、土地使用许可等。
风电项目可能面临更复杂的审批程序，如航空和军事领域的影响评估。
税收优惠与补贴
根据相关政策和法规，外资企业可能享有税收优惠和补贴。
其他相关审批
根据项目具体情况，可能还需要进行其他相关审批，如节能评估、项目备案等。
建议在具体操作过程中，与相关部门保持密切沟通，确保所有审批步骤符合法律法规要求，以提高项目审批效率。