机械手检测程序通常包括以下步骤：
释放晶圆时的抖动情况检测
xy向抖动情况：检测机械手在释放晶圆时，在xy平面内的抖动情况。
z向抖动情况：
s1：在机械手释放晶圆的一个周期内，实时采集多个压力传感器的值，并获取晶圆接触到支撑机构瞬间的有效压力值。多个压力传感器安装在支撑机构上。
s2：在机械手重复释放晶圆的多个周期内，将每个周期的有效压力值按升序排列后，获得有效压力值序列。对有效压力值序列中的所有有效压力值进行分组判断，分别获得稳定压力值序列和抖动压力值序列。分组判断包括预先设定均值计算，以获得稳定压力均值；将抖动压力值序列中的所有有效压力值与稳定压力均值进行标准差计算，以获得机械手在z轴的抖动幅度。
精度检测
伸缩定位精度检测：控制机械手平移至检测工位，并控制机械臂伸出一定距离，利用视觉系统检测机械臂的位置数据。
平移定位精度检测：控制机械手平移一定距离，并利用视觉系统检测机械臂的位置数据。
升降定位精度检测：控制机械手升降一定距离，并利用视觉系统检测机械臂的位置数据。
异常处理
监测系统状态，如发现异常情况（如夹具故障、传感器异常等），及时停机处理，确保生产安全。
关机
结束生产作业后，对机械手系统进行关机，包括关闭电源、释放夹具等。
编程测试
进行机械手的运动测试，包括单轴运动测试和多轴联动测试。
进行机械手的编程测试，包括手动编程和自动编程测试。
进行机械手的负载测试，包括负载能力测试和负载精度测试。
碰撞检测
碰撞检测系统包括处理部、描绘部和深度缓冲器。在深度缓冲器将目标的深度信息设定为深度图信息。描绘部进行第1描绘处理和第2描绘处理，其中第1描绘处理进行深度测试，第2描绘处理不进行深度测试。
这些步骤和测试方法有助于确保机械手的精确度和稳定性，从而提高生产效率和产品质量。具体的测试程序可能会根据机械手的型号、生产环境和特定需求进行调整。