程序违法和实体违法是法律领域中两个重要的概念，分别指以下含义：
程序违法
定义：程序违法是指行政机关或者法律、法规授权的组织在进行具体城乡规划管理过程中，违反城乡规划相关法律、法规、规章规定的程序规则，以及公民、法人或者其他组织在进行具体城乡规划建设过程中，未履行相关程序性义务、获取相关程序要件的行为。
具体表现：
违反法定程序和正当程序。
缺失某些关键的程序环节。
未在法律预先设定的时间内完成行政处理行动。
采用非法形式进行行政决策。
违反法定时限实施的法律许可、省略提醒、颠倒行政步骤、形式要件不足、缺少程序要求等。
实体违法
定义：实体违法是指公民、法人或者其他组织的建设行为，违反城乡规划及相关法律法规或者规划许可规定的相关实体要件。
具体表现：
违反有关设定个人及组织的权力、义务的法律，例如刑法、民法以及行政法等实体法。
行为结果不符合法律规定的实质性权利与责任关系，影响法律体系的严谨性与秩序性。
总结：
程序违法主要关注行政行为在方法、步骤和顺序等方面的不合规操作，而实体违法则关注行为本身是否符合法律规定的实质性的权利与责任关系。两者均属于违法行为，需依法承担相应的法律责任。