内径千分尺是一种 精密测量工具，广泛应用于机械加工领域，用于测量IT10或低于IT10级工件的孔径、槽宽及两端面距等内尺寸。它基于螺旋副传动原理进行读数，通过螺旋传动将被测尺寸转换为丝杆的轴向位移和微分套筒的圆周位移，从而读取测量头和测杆测量面间的距离。
内径千分尺主要由微分头、测量触头和各种接长杆组成。微分头包括测微头、锁紧装置、固定套管、微分筒、测微螺杆等结构，示值范围一般有13mm、25mm、50mm等，测量下限为50mm、75mm、100mm、150mm等，分度值为0.01mm。接长杆包括测量头、芯杆等。
内径千分尺的技术参数包括：
量程：0.5mm-300mm
分辨率：0.001mm
准确度：±0.003mm-±0.008mm
线性误差：0.0005mm/1mm
常用的内径千分尺规格有：2-2.5, 2.5-3, 3-4, 4-5, 5-6, 6-8, 8-10, 10-12, 12-16, 16-20, 20-25, 25-30, 30-40, 40-50等，以mm为单位量度。内径千分尺通常是接长杆式的，但也有单杆式的，不论接长杆式的还是单杆式的，其较小测量下限均为50mm。
在使用内径千分尺时，需要注意以下事项：
1. 必需用尺寸最大的接杆与其测微头连接，依次顺接到测量触头，以减少连接后的轴线弯曲。
2. 测量时应看测微头固定和松开时的变化量。
3. 在日常生产中，用内径尺测量孔时，将其测量触头测量面支撑在被测表面上，调整微分筒，使微分筒一侧的测量面在孔的径向截面内摆动，找出最小尺寸。
4. 拧紧固定螺钉取出并读数，也有不拧紧螺钉直接读数的，但这样存在姿态测量问题。
内径千分尺的正确测量方法包括选择正确的支承位置，以减少重力变形导致的形位误差。理论和实验结果表明，由工件截面形状所决定的刚度对支承后的重力变形影响很大。
内径千分尺以其高精度、可靠性和易用性，广泛应用于机械制造、模具制造、航空航天、精密仪器制造等工业和工程领域。