万级洁净室的标准主要包括以下几个方面:
粒子数
每立方米内允许的大尘粒数量:直径大于等于0.5微米的尘粒数不能超过350,000个,直径大于5微米的尘粒数不能超过2,000个。
微生物
每立方米内允许的浮游菌数量不能超过100个。
每立方米内允许的沉降菌数量不能超过3个。
压差
相同洁净度等级的洁净室压差要保持一致,不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间的压差要≥10Pa。
温度和湿度
一般万级洁净室对温度和湿度没有特殊要求,温度一般夏季在24~26℃,冬季一般在20~22℃,湿度夏季一般在50-70%,冬季在30-50%。
照度
洁净室内生产地区的照度一般在≥300Lx,辅助间、人员净化、物料间、气闸室、走廊的照度一般为200~300Lx。
噪音控制
动态测试时,万级洁净室内的噪声不能超过70分贝;静态测试时,万级洁净室的噪声不能超过60分贝。
其他要求
洁净室内生产地区的照度一般在≥300Lx,辅助间、人员净化、物料间、气闸室、走廊的照度一般为200~300Lx。
洁净室需要采用高效的空气净化系统,空气流速通常在0.3-0.5m/s之间,洁净度达到ISO14644-1标准的5级。
洁净室地面应平整、无尘、易清洁、不脱落,地面材料通常为防静电PVC地板,其静电电阻应小于10^8Ω。
洁净室进出口需要设计风淋室或气密门,以避免外界的空气和微粒进入室内。风淋室空气流速通常为20-25m/s。
这些标准共同确保了万级洁净室在空气洁净度、微生物控制、环境条件等方面的高标准,适用于需要高洁净度的生产环境,如精密制造、电子工业等。