超纯水和蒸馏水是两种不同纯度的水，它们在多个方面存在明显的区别：
工艺原理
超纯水：通过多个水处理步骤去除水中的离子、溶解物质和有机物，常见步骤包括反渗透、离子交换、电去离子等。
蒸馏水：通过将自来水加热至沸腾，然后将蒸汽冷凝成水，去除水中的大部分溶解物质、离子和有机物。
水质纯度
超纯水：具有非常高的水质纯度，电阻率通常超过18.2兆欧姆/厘米（MΩ/cm），离子含量极低，适用于对水质要求极高的实验和工业生产，如分析化学、生物技术和纳米技术。
蒸馏水：纯度较高，但可能低于超纯水，适用于一般实验和一些工业应用。
水质稳定性
超纯水：稳定性较差，容易吸收大气中的气体和溶解物质，需要特殊的防护措施来维持其高纯度。
蒸馏水：相对稳定，不容易受到外界杂质的污染，可以在一定时间内保持较高的水质。
成本和设备要求
超纯水：系统较复杂且成本较高，需要专业的知识和技能来维护和运营。
蒸馏水：系统相对简单，成本较低，主要设备是蒸馏器，维护相对容易。
应用领域
超纯水：适用于半导体制造、电子工业、医药行业等高科技领域。
蒸馏水：适用于生活饮用、实验室清洗等用途。
总结：
超纯水和蒸馏水在工艺原理、水质纯度、稳定性、成本和设备要求以及应用领域等方面均有显著差异。超纯水具有极高的纯度，适用于对水质要求极高的领域，而蒸馏水虽然纯度较高，但适用于一般实验和工业应用。根据具体需求选择合适的水质类型是非常重要的。