探针测试程序的具体步骤会根据测试需求和使用的设备有所不同。以下是一个通用的探针测试程序的基本步骤，以及针对特定类型探针和测试仪器的详细说明：
通用步骤
选择合适的探针
根据被测物的物理和化学性质（如硬度、导电性、尺寸等）选择合适的探针类型和规格。
明确测试需求（如测量精度、测试目的）以确定探针的功能和性能要求。
准备测试仪器
确保测试仪器处于正常工作状态，并进行必要的检查和校准。
连接探针到测试仪器，并确保连接稳定可靠。
清洁探针
使用适当的清洁剂和工具彻底清洁探针，避免灰尘、污垢或残留物影响测量结果。
定位被测点
使用显微镜或放大镜等辅助工具精确定位被测点。
确保探针与被测点之间有良好的接触。
执行测试
根据测试程序的要求，执行探针测试。
记录测试数据，并确保数据的准确性和完整性。
数据分析与结果呈现
分析测试数据，计算测量结果。
将测量结果与标准值或预期结果进行比较，得出偏差值。
根据偏差值进行相应的调整或决策。
清洁与维护
测试结束后，清洁探针以保持其性能。
定期检查探针的磨损情况，及时更换损坏的探针。
针对特定探针和仪器的详细步骤
手动探针台测试过程
样品准备与固定
将需要测试的半导体芯片或其他电子元器件放置在手动探针台的载物台上，并确保样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
样品定位与观察
使用显微镜的低倍物镜和高倍物镜观察样品，确保待测点清晰可见。
探针调整与接触
将探针装载到探针座上，并通过微调旋钮将探针移动至接近待测点的位置。
确保探针与待测点良好接触。
测试执行
连接测试设备，如半导体参数测试仪、示波器等。
开始测试，并观察记录测试过程中的数据和变化。
数据记录与后续处理
测试完成后，记录并保存测试数据，以便后续分析和处理。
四探针测试步骤
连接探针
将四个探针分别连接到吉时利2636B源表的电流输出端和电压测量端。
设置源表参数
选择适当的测量模式，设置期望的驱动电流值和测量时间。
开始测试
确认所有连接和设置无误后，开始测试并观察显示屏上的数据变化。
数据记录与分析
测试完成后，记录电流和电压的数值，并计算样品的电阻率。
编写探针测试程序的建议
详细规划：根据探针程序的不同功能和机床系统，详细规划每一步的操作。
参考手册：编写程序时要参考操作手册和编程指令，选择合适的变量、函数和语法格式。
模拟仿真：在实际操作前，可以先进行模拟仿真，确认程序逻辑的正确性。
安全措施：添加必要的安全措施，如探针速度和加速度限制、断电保护和紧急停止功能。
通过遵循以上步骤和建议，可以有效地进行探针测试，并确保测试结果的准确性和可靠性。