超度亡魂的程序通常包括以下步骤：
斋戒：
在超度前，法师或参与者需要斋戒沐浴，清静心身，以示虔诚。
设坛：
设立阴阳坛，阴坛上摆放亡人牌位、鲜花供果、三茶四酒等物品。同时，还需准备招魂幡等旗幡和其他必要的物品，如香宝蜡烛、米饭馒头等。
登坛做法：
法师登坛后，先进行净坛法事，然后开始超度法事。
诵经：
法事过程中会诵念大量经文，如《太上洞玄灵宝救苦拔罪妙经》、《元始天尊说丰都灭罪经》、《太上三生解怨妙经》等，如果是女子还需加《太乙救苦天尊说拨度酆都血湖妙经》。
施食化宝：
法事结束后，法师会茶酒米饭撒于四周，供亡魂食用，同时烧化纸钱，有的人还会烧各种纸糊像。
特殊处理：
对于死亡时灵体不全或罪恶较大的亡魂，法师还需运用特殊的法术和符咒进行弥补或赦免。
回向：
在法事结束时，需要进行回向，将诵经的功德回向给亡者，祈愿其早日超生。
送亡灵离去：
超度完成后，主持人会进行送亡灵离去的仪式，告诉亡灵已经完成超度，鼓励其离开，进入更好的境界。
这些步骤旨在帮助亡魂解脱苦难，往生极乐世界，并对法师或斋主来说是一件功德无量的事情。