铣深孔内圆的编程步骤如下：
确定圆心坐标和半径
确定内圆的圆心位置和半径，这是编程的基础。
选择合适的插补指令
使用G02或G03指令进行圆弧插补，G02用于顺时针圆弧，G03用于逆时针圆弧。
编写程序
起始点：将刀具定位到内圆的起始点，可以使用G00快速定位指令或G01直线插补指令。
圆弧插补：使用G02或G03指令插补绘制圆弧，指定圆心坐标、半径和方向。
结束点：移动刀具到内圆的终点位置。
设置切削参数
根据需要设置切削参数，如切削深度、进给速度、主轴转速等。
模拟和验证
在编程软件中进行模拟切削，验证程序的正确性和可行性。
后处理生成数控代码
将模拟结果转换为数控代码（NC code），并传输到数控铣床进行加工。
```plaintext
G90 G54 G0 X0.Y0 Z5 设置绝对坐标模式，选择工件坐标系，快速移动到起始点
G01 Z-.025 F1200 直线插补到起始点，设置进给速度
G02 Xc圆心坐标 Yc圆心坐标 R半径 顺时针圆弧插补
G03 Xc圆心坐标 Yc圆心坐标 -R半径 逆时针圆弧插补（如果需要）
G00 X下一个位置的坐标 Y下一个位置的坐标 快速移动到下一个位置
M99 结束程序
```
请注意，以上代码示例中的坐标值和半径值需要根据具体情况进行替换，确保程序准确执行。
建议
使用CAM软件：可以考虑使用CAM软件（如Mastercam、Fusion 360等）进行自动编程，这样可以省去手动编写G代码的繁琐过程，并提高编程的准确性和效率。
刀具半径补偿：在编程时，考虑使用刀具半径补偿功能，以确保加工精度。
加工顺序和切削条件优化：根据实际情况优化加工顺序和切削条件，以提高加工效果和加工质量。