实质性分析程序是注册会计师在财务报表审计中用作实质性程序的一种分析技术。它通过研究不同财务数据之间以及财务数据与非财务数据之间的内在关系，对财务信息作出评价。实质性分析程序的主要目的是帮助注册会计师发现财务报表中的异常变化或预期发生而未发生的变化，识别存在潜在重大错报风险的领域。
具体来说，实质性分析程序可以用于以下目的：
风险评估：
了解被审计单位及其环境并评估可能的重大错报风险。
发现异常：
帮助注册会计师发现财务报表中的异常变化，或者预期发生而未发生的变化。
持续经营能力评估：
识别那些可能表明被审计单位持续经营能力存在问题的事项。
交易和账户余额的审查：
通过分析程序来识别各类交易、账户余额、列报及相关认定是否存在错报。
与细节测试相比，实质性分析程序提供的证据在很大程度上是间接证据，证明力相对较弱，但其精确度可能受到数据可靠性的影响。数据的可靠性越高，预期的准确性也将越高，分析程序将更有效。
在审计过程中，注册会计师可以计划获取不同水平的保证，这对应于对数据可靠性的不同要求。例如，在审计的临近结束时，注册会计师可能会设计和实施分析程序，以有助于对财务报表形成总体结论。
综上所述，实质性分析程序是审计中一种重要的工具，用于评估风险、发现潜在的重大错报，并帮助注册会计师形成对财务报表的整体印象。