真空泵的主要参数包括：
抽气速率
单位：m³/s或m³/h
定义：单位时间内能从设备内抽走气体的体积。
极限真空
单位：Pa或%
定义：真空泵在特定条件下，经抽气达到稳定状态的最低压力。
抽气量
单位：m³/h或L/s
定义：在一定温度下，单位时间内从设备内抽走给定的气体量。
启动压力
单位：Pa
定义：真空泵开始工作时的压力。
极限压强
单位：Pa
定义：泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。
前级压强
单位：Pa
定义：排气压强低于一个大气压的真空泵的压强。
大前级压强
单位：Pa
定义：过了能使泵损坏的前级压强。
大工作压强
单位：Pa
定义：对应大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
压缩比
定义：泵对给定气体的压强与入口压强之比。
何氏系数
定义：泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
抽速系数
定义：泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
返流率
单位：g/cm².s
定义：泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
水蒸气允许量
单位：kg/h
定义：泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
转速
单位：r/min
定义：转子的旋转速度。
噪音水平
定义：泵在运行过程中产生的噪音大小，影响使用环境。
振动
定义：泵在运行过程中产生的振动大小，影响使用环境。
温升
定义：泵在运行过程中温度的升高情况，影响使用环境。
流导
单位：L/s
定义：真空管道通过气体的能力，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
平均自由程
单位：m
定义：作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离。
标准大气压
单位：Atm
定义：压强为每平方厘米101325达因的气压。
压力或压强
单位：Pa
定义：气体分子作用于容器壁的单位面积上的力。
这些参数共同决定了真空泵的性能和使用范围，选择合适的真空泵需要综合考虑这些参数以及具体的应用需求。